 
● ● ● 박막기술의 기초 이론과 응용
박막공학의 기초
★ 제7회 문화관광부 선정 우수 학술 도서 ★
박막 제조 기술이 정보, 통신, 에너지, 환경 등 현대 산업 분야와 밀접한 관계를 맺고 있고, 크게 유익한 전문 기술 분야로 자리잡고 있으므로 다음 사항에 역점을 두고 구성하였다.
첫째, 필자들이 지난 10여 년 동안 대학 또는 석 · 박사 과정의 강의경험에서 얻은 기본 지식을 토대로 실무 교재에 맞도록 체계적으로 정리하였다.
둘째,박막 기술의 비중이 갈수록 산업 현장에서 전문 기술 분야로 활용되고 있는 상황을 감안하여 실무위주로 기술하였다.
셋째, 반도체 제조 공정을 시작으로 해서 각종 재료의 개발, 합성, 재질, 가공, 시각 등의 공업적 기술을 함축성 있게 실용화 하였다.
넷째, 박막 기술에 종사하는 기술자나 연구자가 실제로 활용할 수 있도록 첨단 공정 기술을 실무적으로 다루었다.
1장. 박막의 정의
2장. 박막의 제조방법
3장. 막의 두께와 증착률의 측정방법
4장. 박막형성의 메커니즘
5장. 박막의 특성평가
6장. 박막의 특성
7장. 박막의 응용
8장. 박막제조의 첨단기술
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박막 제조 기술은 정보, 통신, 에너지, 환경 등 현대의 중심적인 산업 분야와 밀접한 관계를 맺고 있고, 최근의 눈부신 산업의 발전에 수반되는 불가결한 기술로 인식되고 있다. 따라서 박막 기술에 종사하는 기술자나 연구자 수도 매우 많아지고, 기술 내용도 광범위하게 넓혀지고 있다.
이와 같은 상황 중에서 연구자나 기술자가 실제로 이용하는 박막 기술은 특정의 목적을 위하여 전문화되고, 특수 화된 경우가 많다. 그래서 박막 기술은 지금까지의 특수 기술로서 취급되어 왔지만 최근에는 반도체 제조 공정을 시작으로 해서 각종 재료의 개발, 합성, 재질, 가공, 시각 등에 공업적으로 널리 실용화디어서 현재에는 일반 기술로서 취급되고 있다.
또한, 이들은 ULSI 집적회로, LCD 또는 PDP에 소자 및 나노 소자의 제작, 마이크로머시닝 등의 첨단 공정 기술 에도 널리 활용되고 있으므로 특히 주목받고 있다. 날이 갈수록 이런 산업에서 박막 기술이 차지하는 비중이 더 커져 가고 있다. 그러나 박막 기술에 관한 기술 서적이 외국에서는 많이 저술되고 있지만, 국내에서는 거의 출판 되지 않고 있다. 따라서, 이 책은 필자들이 지난 10여 년 동안 대학교 전자공학, 전자소자, 전자재료 과목을 비롯, 석 · 박사 과정의 강의 경험에서 얻은 기본 지식을 바탕으로 하나하나 정리하여 기술한 것이다. 또한, 졸업생들이 산업 현장에서 일하는데도 이 박막 기술이 크게 유익한 전문 기술 분야로 자리잡고 있으므로 이들을 감안하여 출판하게 되었다.
● 저자 : 최시영, 김진섭, 마대영, 박욱동, 최규만, 김기완 공저
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