 |
|
¡Ü 1´ë°£ 9Á¤¸Æ À̾߱â |
|
 |
02)704-1616
webmaster@iljinsa.com
|
 |
|
¡ß ÀÌ Ã¥ÀÇ Æ¯Â¡
¡Ü ¡Ü ¡Ü ¹Ú¸·±â¼úÀÇ ±âÃÊ À̷аú ÀÀ¿ë
¹Ú¸·°øÇÐÀÇ ±âÃÊ
¡Ú Á¦7ȸ ¹®È°ü±¤ºÎ ¼±Á¤ ¿ì¼ö Çмú µµ¼ ¡Ú
¹Ú¸· Á¦Á¶ ±â¼úÀÌ Á¤º¸, Åë½Å, ¿¡³ÊÁö, ȯ°æ µî Çö´ë »ê¾÷ ºÐ¾ß¿Í ¹ÐÁ¢ÇÑ °ü°è¸¦ ¸Î°í ÀÖ°í, Å©°Ô À¯ÀÍÇÑ Àü¹® ±â¼ú ºÐ¾ß·Î ÀÚ¸®Àâ°í ÀÖÀ¸¹Ç·Î ´ÙÀ½ »çÇ׿¡ ¿ªÁ¡À» µÎ°í ±¸¼ºÇÏ¿´´Ù.
ù°, ÇÊÀÚµéÀÌ Áö³ 10¿© ³â µ¿¾È ´ëÇÐ ¶Ç´Â ¼® ¡¤ ¹Ú»ç °úÁ¤ÀÇ °ÀǰæÇè¿¡¼ ¾òÀº ±âº» Áö½ÄÀ» Åä´ë·Î ½Ç¹« ±³Àç¿¡ ¸Âµµ·Ï ü°èÀûÀ¸·Î Á¤¸®ÇÏ¿´´Ù.
µÑ°,¹Ú¸· ±â¼úÀÇ ºñÁßÀÌ °¥¼ö·Ï »ê¾÷ ÇöÀå¿¡¼ Àü¹® ±â¼ú ºÐ¾ß·Î Ȱ¿ëµÇ°í ÀÖ´Â »óȲÀ» °¨¾ÈÇÏ¿© ½Ç¹«À§ÁÖ·Î ±â¼úÇÏ¿´´Ù.
¼Â°, ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ °øÁ¤À» ½ÃÀÛÀ¸·Î ÇØ¼ °¢Á¾ Àç·áÀÇ °³¹ß, ÇÕ¼º, ÀçÁú, °¡°ø, ½Ã°¢ µîÀÇ °ø¾÷Àû ±â¼úÀ» ÇÔÃ༺ ÀÖ°Ô ½Ç¿ëÈ ÇÏ¿´´Ù.
³Ý°, ¹Ú¸· ±â¼ú¿¡ Á¾»çÇÏ´Â ±â¼úÀÚ³ª ¿¬±¸ÀÚ°¡ ½ÇÁ¦·Î Ȱ¿ëÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï ÷´Ü °øÁ¤ ±â¼úÀ» ½Ç¹«ÀûÀ¸·Î ´Ù·ç¾ú´Ù.
|
¡ß ¸ñ Â÷
1Àå. ¹Ú¸·ÀÇ Á¤ÀÇ
1. ¹Ú ¸·
1-1 Áø °ø 14
1-2 ±âüÀÇ ÀϹÝÀûÀÎ ¼ºÁú 14
1-3 ´ë±â¾Ð 15
1-4 Áø°øµµ 17
1-5 ±âüÀÇ Æò±Õ ÀÚÀ¯ÇàÁ¤ 17
1-6 À¯È®»ê ÆßÇÁÀÇ ÀÛµ¿ 23
1-7 ¾Ð·ÂÀÇ ÃøÁ¤ 24
1-8 McLeod °ÔÀÌÁö 25
1-9 Pirani °ÔÀÌÁö¿Í ¿Àü´ë °ÔÀÌÁö 26
1-10 ¿ÀÌ¿ÂÀû ÀÌ¿ÂÈ °ÔÀÌÁö 27
2Àå. ¹Ú¸·ÀÇ Á¦Á¶¹æ¹ý
1. ÈÇÐÀû ¹× Àü±âÈÇÐÀû ¹æ¹ý
1-1 À½±Ø ÀüÇØ ¼º¸·¹ý 29
1-2 ¹«Àü±Ø ¶Ç´Â ¹«Àü±â ¼º¸·¹ý 30
1-3 ¾ç±Ø »êȹý 30
1-4 CVD¹ý 31
1-5 ¾×»ó ¿¡ÇÇŹ½Ã¹ý 32
1-6 Langmuir-Blodgett ¸· Çü¼º¹ý 33
1-7 ÈíÂø¹æ¹ý 33
2. Áø°ø ÁõÂø
2-1 ¹°¸®Àû ±âÃÊ 33
2-2 ½ÇÇè ±â¼ú 35
3. ÀÌ¿ÂÀ» ÀÌ¿ëÇÏ´Â ¹æ¹ý°ú À½±Ø ½ºÆÛÅ͸µ
3-1 2±Ø ½ºÆÛÅ͸µÀÇ ¿ø¸® 45
3-2 Àú¾Ð À½±Ø ½ºÆÛÅ͸µ 49
3-3 À̿ ÇÁ·¹ÀÌÆÃ°ú À̿ºöÀ» ÀÌ¿ëÇÑ ¹æ¹ý 51
4. ¹Ì¼¼ ¸¶½ºÅ© Á¦Á¶
4-1 ÀϹÝÀûÀÎ ¸¶½ºÅ· 52
4-2 ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ¹æ¹ý 52
4-3 À̿¼±¼Ó ¹Ð¸µ°ú ÀÌ¿ÂÁÖÀÔ 56
3Àå. ¸·ÀÇ µÎ²²¿Í ÁõÂø·üÀÇ ÃøÁ¤¹æ¹ý
1. Ī·®¹ý
1-1 ¹Ì¼¼ Ī·®¹ý 57
1-2 ¼öÁ¤ Áøµ¿¹æ¹ý 58
2. Àü±âÀû ¹æ¹ý
2-1 Àü±âÀúÇ× ÃøÁ¤¹ý 61
2-2 Ä¿ÆÐ½ÃÅϽºÀÇ ÃøÁ¤ 61
2-3 Q-factor º¯È¿¡ ÀÇÇÑ ¹æ¹ý 62
2-4 ÀÌ¿Âȹý 62
3. ±¤ÇÐÀû ¹æ¹ý
3-1 ±¤Èí¼ö°è¼öÀÇ ÃøÁ¤À» ±âÃÊ·Î ÇÑ ¹æ¹ý 63
3-2 °£¼·¹æ¹ý 64
3-3 ÆÄÀÌ·Î¸ÞÆ®¸¯ ¹æ¹ý 68
3-4 ¿îµ¿·® ¼ö¼ÛÀ» »ç¿ëÇÑ ÁõÂø·üÀÇ ¸ð´ÏÅ͸µ 69
3-5 Ư¼öÇÑ µÎ²² ¸ð´ÏÅ͸µ ¹æ¹ý 70
4Àå. ¹Ú¸·Çü¼ºÀÇ ¸ÞÄ¿´ÏÁò
1. ¹Ú¸·ÀÇ Çü¼º
1-1 ¹Ú¸·ÀÇ Çü¼º ´Ü°è 71
2. ÇÙ Çü¼º
2-1 ÇÙÀÚ Çü¼º¿¡ ´ëÇÑ ¿¿ªÇÐÀû ÀÌ·Ð 76
2-2 ÇÙÀÚ Çü¼ºÀÇ Åë°èÀû ÀÌ·Ð 82
2-3 ÇÙ Çü¼º°úÁ¤¿¡ ´ëÇÑ ÀÎÀÚµéÀÇ ¿µÇâ 88
2-4 ÇÙ Çü¼ºÀÌ·ÐÀÇ Áõ°Å¸¦ À§ÇÑ ¸î °¡Áö ½ÇÇè 93
3. ¼¶µé (islands) ÀÇ ¼ºÀå°ú ÇÕü 98
4. ¸·ÀÇ ÃÖÁ¾ ±¸Á¶¿¡ ´ëÇÑ ¿©·¯ ÀÎÀÚµéÀÇ ¿µÇâ
4-1 À½±Ø ½ºÆÛÅ͸µ°ú ÀÌ¿ÂÀ» »ç¿ëÇÑ ´Ù¸¥ ¹æ¹ý¿¡ ÀÇÇØ ÁõÂøµÈ ¸·ÀÇ ¼ºÁú 107
5. ¹Ú¸·ÀÇ °áÁ¤ÇÐÀû ±¸Á¶ 111
6. ¿¡ÇÇÅÃ½Ã¾ó¸· 121
5Àå. ¹Ú¸·ÀÇ Æ¯¼ºÆò°¡
1. ¹Ú¸·ÀÇ ÀüÀÚ Çö¹Ì°æÇÐÀû °íÂû
1-1 Åõ°ú ÀüÀÚ Çö¹Ì°æ 126
1-2 º¹Á¦±â¼ú¿¡ ÀÇÇÑ Ç¥¸éÀÇ ÀüÀÚ Çö¹Ì°æÇÐÀû °Ë»ç 135
1-3 ¹Ú¸· Ç¥¸éÀÇ Á÷Á¢ ¿µ»óÀ» ¾ò±â À§ÇÑ ÀüÀÚ Çö¹Ì°æ 137
1-4 Ưº°ÇÑ ÀüÀÚ Çö¹Ì°æÇÐÀû ¹æ¹ý 142
2. ÀüÀÚ È¸Àý
2-1 ¹Ý»ç³ª Åõ°ú¿¡¼ °í¿¡³ÊÁö ÀüÀÚȸÀý(HEED) 148
2-2 Àú¿¡³ÊÁö ÀüÀÚȸÀý(LEED) 150
3. X-ray ¹æ¹ý
3-1 X-ray ȸÀý 152
3-2 X-¼± ¸¶ÀÌÅ©·Î½ºÄÚÇÁ 153
3-3 X-¼± Çü±¤ºÐ¼® 153
4. ÀüÀÚºö ¹æ¹ý
4-1 ÀÏ¹Ý ¿ø¸® 154
4-2 ÀüÀÚ ¸¶ÀÌÅ©·Îºê ºÐ¼®(EMA) 157
4-3 Auger ÀüÀÚ ºÐ±¤±â 160
4-4 ¿¡³ÊÁö ¼Õ½Ç ºÐ±¤±â(ELS) 162
5. À̿ºö ¹æ¹ý
5-1 Àú¿¡³ÊÁö À̿»ê¶õ 163
5-2 Rutherford Backscattering (RBS) 165
5-3 2Â÷ À̿ Áú·® ºÐ±¤±â (SIMS) 166
5-4 ÀÌ¿ÂÀÌ À¯µµµÈ X-¼± ¹æÃâ 169
6. ±¤ºö ¹æ¹ý
6-1 ±¤ÀüÀÚ ºÐ±¤±â 170
6-2 ·¹ÀÌÀú·Î À¯µµµÈ ºÐ±¤±â 172
6Àå. ¹Ú¸·ÀÇ Æ¯¼º
1. ¹Ú¸·ÀÇ ¿ªÇÐÀû Ư¼º
1-1 ¹Ú¸·¿¡¼ÀÇ ÀÀ·Â 174
1-2 ¹Ú¸·ÀÇ ÀÀ·Â ÃøÁ¤ 178
1-3 ¹Ú¸·ÀÇ ¿ªÇÐÀû »ó¼ö ÃøÁ¤ 181
1-4 ¹Ú¸·ÀÇ ºÎÂø¼º 184
1-5 Rayleigh Ç¥¸éÆÄ 189
2. ¹Ú¸·ÀÇ Àü±âÀû, ÀÚ±âÀû Ư¼º
2-1 ¿¬¼ÓÀûÀÎ ±Ý¼Ó¸·ÀÇ Àüµµµµ 192
2-2 ºÒ¿¬¼ÓÀûÀÎ ±Ý¼Ó¸·ÀÇ Àüµµµµ 196
2-3 ¹ÝµµÃ¼ ¹Ú¸·ÀÇ Àü±âÀû Ư¼º 201
2-4 ±âü ÈíÂø¿¡ ÀÇÇÑ ÀúÇ×·üÀÇ º¯È 204
2-5 ÀüÀÚ ¸¶À̱׷¹ÀÌ¼Ç 206
2-6 ¹Ú¸·ÀÇ Àü·ù ÀÚ±âÈ¿°ú 208
2-7 ¹Ú¸·¿¡¼ÀÇ ÃÊÀüµµ 209
2-8 À¯Àüü ¹Ú¸·ÀÇ Àüµµµµ 216
2-9 ¹Ú¸·ÀÇ À¯Àü Ư¼º 225
2-10 ¹Ú¸·ÀÇ °ÀÚ¼º Ư¼º 230
3. ¹Ú¸·ÀÇ ±¤ÇÐÀû Ư¼º
3-1 ±âº»ÀûÀÎ ±¤ÇÐÀû Ư¼º 234
3-2 ±¤¹ß»ý°ú ±¤µµÆÄ·Î 236
3-3 ±¤º¯Á¶ 239
7Àå. ¹Ú¸·ÀÇ ÀÀ¿ë
1. ¿ªÇÐÀû Ư¼ºÀÇ ÀÀ¿ë
1-1 ¹Ú¸· ÄÚÆÃÃþÀÇ »ç¿ë ¿¹ 242
1-2 À̿ º¸Á¶ ½ºÆÛÅ͸µ 243
2. ÀüÀÚ°øÇаú ¹Ì¼¼ ÀüÀÚ°øÇп¡ÀÇ ÀÀ¿ë
2-1 Àü±âÀû Á¢ÃË, »óÈ£¿¬°á, ÀúÇ×ü 244
2-2 Ä¿ÆÐ½ÃÅÍ¿Í ÀδöÅÍ 247
2-3 ´Éµ¿ ÀüÀÚ¼ÒÀÚ 248
2-4 ÁýÀûȸ·Î 252
2-5 ¸î °¡Áö ´õ °³¼±µÈ ÀüÀÚ¼ÒÀÚ 255
2-6 °ÀÚ¼ºÃ¼¿Í ÃÊÀüµµÃ¼ ¹Ú¸·ÀÇ ÀÀ¿ë 256
2-7 Ç¥¸éÆÄ¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ¸¶ÀÌÅ©·Î À½Çâ¼ÒÀÚ 262
3. ±¤ÇÐ, ±¤ÀüÀÚ°øÇÐ ¹× ÁýÀû±¤Çп¡ÀÇ ÀÀ¿ë
3-1 ±¤Çп¡ÀÇ ÀÀ¿ë 264
3-2 ±¤ÀüÀÚ¿¡ÀÇ ÀÀ¿ë 267
3-3 ÁýÀû±¤Çп¡ÀÇ ÀÀ¿ë 272
3-4 ÅÂ¾ç ¿¡³ÊÁöÀÇ ½Ç¿ëÈ 276
8Àå. ¹Ú¸·Á¦Á¶ÀÇ Ã·´Ü±â¼ú
1. ´Ü¿øÀÚÃþ ¿¡ÇÇŹ½Ã
1-1 ´Ü¿øÀÚÃþ ¿¡ÇÇŹ½ÃÀÇ ¿ø¸®¿Í Ư¼º 278
1-2 ALE ÀÇ ¼ºÀå±â±¸ 280
1-3 °¢Á¾ Àç·áÀÇ ALE 286
2. ±Ý¼Ó Àΰø°ÝÀÚ
2-1 Àΰø°ÝÀÚÀÇ Æ¯Â¡ 288
2-2 ±Ý¼Ó Àΰø°ÝÀÚÀÇ Á¦Á¶¹ý 290
2-3 ±Ý¼Ó Àΰø°ÝÀÚÀÇ ±â´É 293
3. ³ª³ë ±¸Á¶Á¦¾î
3-1 V Ȩ ±¸Á¶»ó ¼±ÅüºÀå¿¡ ÀÇÇÑ ±¸Á¶Á¦¾î 295
3-2 Àý¿¬¸· ¸¶½ºÅ© ÆÐÅÏ»ó ¼±ÅüºÀå¿¡ ÀÇÇÑ ³ª³ë±¸Á¶Á¦¾î 296
3-3 ôÈÇü ½ºÆ®¸³ ±¸Á¶»ó ¼±ÅüºÀå¿¡ ÀÇÇÑ ³ª³ë±¸Á¶Á¦¾î 298
3-4 ¸é¹æÀ§¿¡ ÀÇÇÑ ³ª³ë±¸Á¶Á¦¾î 299
4. ¿øÀÚ Á¶ÀÛ
4-1 ÁÖ»çÇü ÇÁ·Îºê Çö¹Ì°æÀÇ ¿ø¸® 301
4-2 SPM ¿¡ ÀÇÇÑ ¿øÀÚ, ºÐÀÚ Á¶ÀÛ 303
¢Ì ã¾Æº¸±â 307
|
¡ß ¸Ó¸®¸»
¹Ú¸· Á¦Á¶ ±â¼úÀº Á¤º¸, Åë½Å, ¿¡³ÊÁö, ȯ°æ µî Çö´ëÀÇ Áß½ÉÀûÀÎ »ê¾÷ ºÐ¾ß¿Í ¹ÐÁ¢ÇÑ °ü°è¸¦ ¸Î°í ÀÖ°í, ÃÖ±ÙÀÇ ´«ºÎ½Å »ê¾÷ÀÇ ¹ßÀü¿¡ ¼ö¹ÝµÇ´Â ºÒ°¡°áÇÑ ±â¼ú·Î Àνĵǰí ÀÖ´Ù. µû¶ó¼ ¹Ú¸· ±â¼ú¿¡ Á¾»çÇÏ´Â ±â¼úÀÚ³ª ¿¬±¸ÀÚ ¼öµµ ¸Å¿ì ¸¹¾ÆÁö°í, ±â¼ú ³»¿ëµµ ±¤¹üÀ§ÇÏ°Ô ³ÐÇôÁö°í ÀÖ´Ù.
ÀÌ¿Í °°Àº »óȲ Áß¿¡¼ ¿¬±¸ÀÚ³ª ±â¼úÀÚ°¡ ½ÇÁ¦·Î ÀÌ¿ëÇÏ´Â ¹Ú¸· ±â¼úÀº ƯÁ¤ÀÇ ¸ñÀûÀ» À§ÇÏ¿© Àü¹®ÈµÇ°í, Ư¼öÈµÈ °æ¿ì°¡ ¸¹´Ù. ±×·¡¼ ¹Ú¸· ±â¼úÀº Áö±Ý±îÁöÀÇ Æ¯¼ö ±â¼ú·Î¼ Ãë±ÞµÇ¾î ¿ÔÁö¸¸ ÃÖ±Ù¿¡´Â ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ °øÁ¤À» ½ÃÀÛÀ¸·Î ÇØ¼ °¢Á¾ Àç·áÀÇ °³¹ß, ÇÕ¼º, ÀçÁú, °¡°ø, ½Ã°¢ µî¿¡ °ø¾÷ÀûÀ¸·Î ³Î¸® ½Ç¿ëȵð¾î¼ ÇöÀç¿¡´Â ÀÏ¹Ý ±â¼ú·Î¼ Ãë±ÞµÇ°í ÀÖ´Ù.
¶ÇÇÑ, À̵éÀº ULSI ÁýÀûȸ·Î, LCD ¶Ç´Â PDP¿¡ ¼ÒÀÚ ¹× ³ª³ë ¼ÒÀÚÀÇ Á¦ÀÛ, ¸¶ÀÌÅ©·Î¸Ó½Ã´× µîÀÇ Ã·´Ü °øÁ¤ ±â¼ú¿¡µµ ³Î¸® Ȱ¿ëµÇ°í ÀÖÀ¸¹Ç·Î ƯÈ÷ ÁÖ¸ñ¹Þ°í ÀÖ´Ù. ³¯ÀÌ °¥¼ö·Ï ÀÌ·± »ê¾÷¿¡¼ ¹Ú¸· ±â¼úÀÌ Â÷ÁöÇÏ´Â ºñÁßÀÌ ´õ Ä¿Á® °¡°í ÀÖ´Ù. ±×·¯³ª ¹Ú¸· ±â¼ú¿¡ °üÇÑ ±â¼ú ¼ÀûÀÌ ¿Ü±¹¿¡¼´Â ¸¹ÀÌ Àú¼úµÇ°í ÀÖÁö¸¸, ±¹³»¿¡¼´Â °ÅÀÇ ÃâÆÇµÇÁö ¾Ê°í ÀÖ´Ù. µû¶ó¼, ÀÌ Ã¥Àº ÇÊÀÚµéÀÌ Áö³ 10¿© ³â µ¿¾È ´ëÇб³ ÀüÀÚ°øÇÐ, ÀüÀÚ¼ÒÀÚ, ÀüÀÚÀç·á °ú¸ñÀ» ºñ·Ô, ¼® ¡¤ ¹Ú»ç °úÁ¤ÀÇ °ÀÇ °æÇè¿¡¼ ¾òÀº ±âº» Áö½ÄÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î ÇϳªÇϳª Á¤¸®ÇÏ¿© ±â¼úÇÑ °ÍÀÌ´Ù. ¶ÇÇÑ, Á¹¾÷»ýµéÀÌ »ê¾÷ ÇöÀå¿¡¼ ÀÏÇϴµ¥µµ ÀÌ ¹Ú¸· ±â¼úÀÌ Å©°Ô À¯ÀÍÇÑ Àü¹® ±â¼ú ºÐ¾ß·Î ÀÚ¸®Àâ°í ÀÖÀ¸¹Ç·Î À̵éÀ» °¨¾ÈÇÏ¿© ÃâÆÇÇÏ°Ô µÇ¾ú´Ù.
³¡À¸·Î, ÀÌ Ã¥ÀÌ ³ª¿À±â±îÁö ÃâÆÇÀ» ¸Ã¾Æ Áֽеµ¼ÃâÆÇ ÀÏÁø»ç ¿©·¯ºÐ²² Áø½ÉÀ¸·Î °¨»ç µå¸³´Ï´Ù.
ÀúÀÚ Àϵ¿
|
¡ß ÀúÀÚ¼Ò°³
ÀúÀÚ : Ãֽÿµ, ±èÁø¼·, ¸¶´ë¿µ, ¹Ú¿íµ¿, ÃÖ±Ô¸¸, ±è±â¿Ï °øÀú
|
|
¡¤ ¡¤ ¡¤ ¡¤ ¡¤ °ü ¡¤ ·Ã ¡¤ »ó ¡¤ ǰ ¡¤ ¡¤ ¡¤ ¡¤ ¡¤ |
|
|
|